シランカップリング剤の反応・評価・制御と上手な活用法
　　～技術相談，トラブル相談に対応～

【入門編】シランカップリング処理の本質を理解する
１．シランカップリング処理を最適化する
　1)カップリング反応と結合エネルギー（結合の安定性）
　2)ＱＣＭによる反応モニタリング（単分子層反応のその場解析）
　3)疎水性と超撥水との違い（純水接触角により９０度を超える）
　4)付着性と密着性との違い（互いに逆のと特性を示す）
　5)処理温度（沸点近くに最適温度が存在する）
　6)処理時間（短時間で処理効果がある）
　7)飽和蒸気処理（単分子処理に効果がある）
　8)相互作用引力（吸着力が低下する）
２．効果的な処理装置を構成する
　1)気化方式（バブリング、減圧方式の比較）
　2)脱水ベーク（吸着水の除去）
　3)コンダクタンス（処理系統の流量設計）
　4)装置設計例（大型パネル処理用）
３．シランカップリング表面を使いこなす
　1)表面エネルギー（エネルギーで評価する）
　2)濡れエネルギーWa（疎水化と親水化の評価方法）
　3)溶液浸透解析（塗膜の浸透性）
　4)拡張係数S、円モデル（界面のシーリング性）
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【実用編】実際の現場でのシランカップリング処理のノウハウ
１．塗膜の付着性をコントロールする
　1)パターン剥離（ドライ中での付着力は低下する）
　2)ポッピング現象（局所剥離が増加する）
２．溶液中での界面密着性をコントロールする　
　・液中剥離の抑制効果（シーリング性を促進させる）
３．微粒子の分散性をコントロールする
　・粘性塗膜内の分散性（アンダーフィル剤）
４．塗膜のコート性をコントロールする
　1)ピンホールとはじき（ピンホールの撲滅方法）
　2)粘性指状変形VF（ギャップ内のピンホール解決法）
　3)凹凸パターン（ピンニング効果）
５．液滴と気泡の付着性をコントロールする
　1)液滴成長制御（表面の曇りのメカニズム）
　2)気泡付着性の制御（疎水性表面ほど気泡が付着する）
６．表面を高品位にコントロールする
　1)プラズマ処理（親水性とハイブリッド処理）
　2)アルカリ処理（表面エッチングとのハイブリッド処理）
　3)ナノインプリント（モールドの離形処理）
７．シランカップリング剤によるCVD成膜（HMDSO膜の形成）
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＜質疑応答＞（技術相談、日頃のトラブル相談に応じます）

講師紹介

　三菱電機（株）LSI研究所にて10年間勤務し、開発・試作・量産移管・工場管理の業務に従事し、半導体デバイスの
　高精度な表面処理技術開発を実施した。
　その後、長岡技術科学大学にて勤務し、機能性薄膜、表面界面制御、ナノデバイスなどの先端分野の研究を実施している。

　著作：著書２８件、原著論文１５６報、総説３７報、国際学会論文、９８報
　所属学会：日本接着学会・評議員、応用物理学会、日本物理学会など