故障現象の把握と原因解明のための
電子材料・電子部品の故障解析技術
～異物、汚染、腐食、破壊等の故障原因究明～
電子材料・部品の微小部・表面・界面・深さの分析法、分析事例および
解析・考察の進め方を解説する特別セミナー！！
- 講師
（株）島津製作所 分析計測事業部 技術顧問 工学博士 副島 啓義先生
- 日時
- 会場
- 受講料
- (消費税等込み）1名：47,250円 同時複数人数申込みの場合 1名：42,000円
- テキスト
受講概要
予備知識
特に問いません。 故障解析をしなければならない、したい、の意欲があれば十分です。
習得知識
１）初めての方には 全容の理解と故障解析事例の具体的理解が出来て、身近に感じるでしょう。 ２）経験者には あそうだったのか、そうすればよいのか、とか、 間違った思い込みがあったなあ、という事例に接するでしょう。
講師の言葉
より小さく、より薄く、より高密度な、より高機能な電子材料・部品へと進む中で、故障解析―現象の把握と原因 解明―には多様な知識と経験が必要です。 一見故障の原因と思われた現象が、実際は別の原因で生じた故障の 結果として生じた現象であることも珍しくありません。 故障・不良の現象把握と原因と対策には、微小部・表面・ 界面・深さ分析が大変有用でまた必須となっています。 様々な分析法を解説し、それぞれの特徴や注意点を解説します。 故障解析の分析事例を示すとともに故障の原因解明のための解析・考察の進め方を示します。 また、ミクロン ・ナノの微小部や表面界面の解析では思わぬ落とし穴があり、分析データに現れた結果から真実を判断するためには 空間分解能の正しい理解が必要です。 実例を示しながら解説します。
プログラム
1 故障解析とは
1.1 故障解析の定義と重要性 1.2 生じている現象の把握 1.3 故障の原因と結果の混同
2 原因の追究と解析
2.1 故障解析の進め方 2.2 動作解析と材料解析 2.3 解析装置概観
3 微小部・表面・界面解析
3.1 電子の振る舞いと材料との相互作用 3.2 イオンの振る舞いと材料との相互作用 3.3 Ｘ線の振る舞いと材料との相互作用 3.4 故障解析によく用いられる分析法 3.5 SEM一EDX、EPMA、AES、SIMS、XPSの特徴と比較
4 故障解析の事例
4.1 何を知りたいか、 表面分析で何が分かるか 4.2 異物混入 どんな異物か、混入？生成？ 4.3 汚染 汚染の種類と由来 4.4 腐食 腐食が原因の故障か故障の結果の腐食か 4.5 接点不良 外来原因と自己原因
5 空間分解能
5.1 正しい故障解析のために 表面分析の落とし穴 5.2 空間分解能の定義 プローブ径は空間分解能の一部 5.3 間違った判断事例 表面異常か内部異常か 5.4 走査像の手品 走査像の成立ち、実際の形状が変化する 5.5 走査像に現れる偽像 シャープな像にもウソがある
講師紹介
略歴 1963 神戸大学理学部物理学科卒業 1963 （株）島津製作所入社 1979 工学博士（大阪大学） 1993 （株）島津製作所 取締役 1998 （株）島津総合科学研究所常務取締役 2008～現職 （この間 大阪電気通信大学大学院 客員教授 宮崎大学工学部 非常勤講師 奈良先端科学技術大学院大学 客員教授 大阪大学大学院工学研究科 非常勤講師 ） 専門分野 科学計測：電子・イオン・Ｘ線の応用 所属学協会学会 日本表面科学会、応用物理学会、日本顕微鏡学会、日本分析化学会 日本学術振興協会141委員会、表面技術協会