膜と基板の付着力を理解するための
薄膜の硬さ・内部応力・密着力の相互関係と性能特性
薄膜の付着力について材料の機械的強度の観点から解説する特別セミナー！！
- 講師
神奈川工科大学 客員教授 工学博士 市村 博司先生
- 日時
- 会場
- 受講料
- 1名：47,250円 同時複数人数お申込みの場合1名：42,000円
- テキスト
受講概要
必要な予備知識
材料科学の基礎
受講後の修得知識
薄膜工学の概要 １）薄膜の形成過程と構造 ２）内部応力 ３）薄膜材料の硬さ ４）付着力 ５）摩擦磨耗寿命解析
講師の言葉
薄膜に残留する応力は材料部品の機械的性質に大きく影響する。応力を制御するためには発生原因と その緩和機構を理解する必要がある。製膜時のイオンエネルギーや基板温度、製膜時間などと応力の関係を 物質移動の観点から議論してみよう。膜と基板の付着力は永遠の課題であるにもかかわらず、その定量的 取り扱いは十分に行われていない。付着力は異なった物性を有する材料の物理的、化学的接合によって生じる。 したがって、付着力は複合材料の表面機能としてとらえることが必要となる。 本セミナーでは付着力を材料の機械的強度の観点から解析する。
プログラム
１．薄膜の研究構造：全体を視る目を養おう
1.1序 1.2 薄膜材料の物性概略 1.3 薄膜作成法の概略
２．薄膜の形成過程と構造：ガスも積もれば硬くなる
2.1 序 2.2 形成過程 2.3 薄膜の微構造
３. 内部応力：ストレスのご利益
3.1 序 3.2応力の測定法 3.3 内部応力の起原 3.4 内部応力の実例 3.5 膜の構造と応力
4．薄膜材料の硬さ：硬さの底にあるもの
4.1 序 4.2 硬さの試験法 4.3 複合硬度の解析
5. 付着力：引っ掻くことでわかるもの
5.1 序 5.2 界面エネルギー 5.3 付着力の測定法 5.4 スクラッチ試験 5.5 付着損傷と凝集破戒 5.6 付着力と硬度
6.摩擦・摩耗寿命の解析
6.1 切削性能に与える製膜条件の影響 6.2 切削条件と性能 6.3 高温酸化 6.4 金属/ポリマー 複合材料の劣化機構
７．討議
講師紹介
1972 東京工業大学 大学院 博士課程 修了 工学博士 1972 九州大学工学部 1975 京都セラミックス株式会社 1982 住友金属鉱山株式会社 2001 神奈川工科大学 セラミックス協会、表面技術協会