薄膜応力と密着性を把握するための
薄膜の応力・密着力の信頼性評価と改善技術のポイント
膜応力・剥離・破壊の基本、密着性改善および剥離対処策を解説する特別セミナー！！
- 講師
荒川化学工業株式会社 研究所 機能材料事業部 研究開発部
主任研究員 工学博士 岩村 栄治先生
- 日時
- 会場
- 受講料
- 1名：47,250円 同時複数人数お申込みの場合1名：42,000円
- テキスト
受講概要
必要な予備知識
特になし。薄膜作成プロセス（特に気相形成）の経験があればより効果的。 密着力不足等の技術的課題を持たれている方はさらにベター。
修得知識
1)薄膜応力の概要とその発生メカニズム 2)薄膜の剥離・破壊の基本的概念と密着性改善の考え方 3)応力・密着力測定技術の概要と適用上の限界 4)応力制御や剥離対策における実践的な対処方法
講師の言葉
本セミナーでは、薄膜応力と密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、 できるだけ平易に解説します。特に、膜応力・剥離・破壊の基本と、密着性改善の考え方について詳しく解説し、 柔軟・フレキシブル基材に対する薄膜の密着性の問題や、実際に剥離が発生した場合にどのように対処するかに ついてクローズアップします。 本講座を通じて、薄膜応力と密着性の概略を把握していただき、さらに現象の本質を理解して、個々の 技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。
プログラム
１．薄膜応力の基本と応力発生メカニズム
１．１ 薄膜－基板－応力の基本的イメージ：表面－歪み／変形－応力の関係 １．２ 膜応力を発生させる要因 １．３ 薄膜形成過程での応力発生メカニズム １．４ 熱応力の発生メカニズム １．５ 多層膜における応力制御 １．６ マクロな形状の膜応力への影響 １．７ 応力フリー化の考え方
２．気相形成における成膜パラメータと膜応力の関係
２．１ 薄膜形成方法 ２．２ 薄膜の形成過程と膜構造 ２．３ 成膜パラメータと応力発生の本質的関係 ２．４ 成膜パラメータによる応力制御のポイント
３．膜応力・密着力の評価方法：長所・短所と問題点
３．１ 膜応力の測り方とポイント
３．１．１ 結晶の歪みを直接測定する：Ｘ線回折法
３．１．２ 歪による物性変化を測定する：ラマン分光法
３．１．３ マクロな変形を測定する：基板曲率法
３．２ 密着力の測り方と問題点
３．２．１ 密着力の各種測定手法
３．２．２ スクラッチ試験法
３．２．３ 密着強度はどこまであてになるのか？
４．密着と剥離の基本と密着性改善の考え方
４．１ 表面・界面エネルギー ４．２ 剥離仕事と界面の構造 ４．３ 密着性へのアプローチ方法 ４．４ 密着性に影響を与える因子と剥離・破壊の形態 ４．５ 剥離・破壊の基本的概念と膜応力との関係 ４．６ 密着性改善の基本的考え方 ４．７ 密着力向上のための方策
５．異種材料間の密着力：樹脂／金属系を中心に
５．１ 樹脂と金属との密着性 ５．２ 界面の結合状態の評価 ５．３ 柔軟・フレキシブル基材に対する密着性改善
６．ケーススタディによる膜剥離への実践的対処法
６．１ 剥離点の解析方法 ６．２ 剥離要因の絞込みと対策の検討方法
７．まとめ
講師紹介
研究分野： 機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価 略歴：１９９０年 東京大学工学研究科修士課程修了（金属工学専攻） ２０００年 工学博士 （東京大学） １９９０年～２００１年 （株）神戸製鋼所 技術開発本部 研究員 １９９４年～１９９６年 スタンフォード大学材料科学工学科 客員研究員 ２００２年～２００５年 科学技術振興機構 さきがけ研究２１ 個人研究者 ２００５年～ 荒川化学工業株式会社研究所 主任研究員 受賞：日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞