電子デバイス配線のエレクトロマイグレーション損傷と高精度信頼性評価

Ⅰ　配線損傷と寿命予測

     Ⅰ－１．集積回路における金属薄膜配線
        ａ　配線材料
        ｂ　半導体デバイス及び配線の推移と現状
        ｃ　半導体デバイスにおける配線信頼性の重要性

     Ⅰ－２．エレクトロマイグレーション（EM）
        ａ　エレクトロマイグレーションのメカニズム
        ｂ　エレクトロマイグレーションによる配線損傷
        ｃ　エレクトロマイグレーションによる損傷への対策

     Ⅰ－３．ストレスマイグレーション（SM）
         ａ　ストレスマイグレーションのメカニズム
         ｂ　ストレスマイグレーションによる配線損傷
         ｃ　ストレスマイグレーションによる損傷への対策

     Ⅰ－４．コロージョン（腐食）
        ａ　コロージョンのメカニズム

     Ⅰ－５．配線寿命の予測
        ａ　Black の式によるEM寿命評価
        ｂ　数値シミュレーションによるEM寿命評価例

Ⅱ　数値シミュレーションによる高精度信頼性評価Ⅰ－保護膜のない金属薄膜配線

     Ⅱ－１．多結晶配線
        ａ　多結晶配線におけるEM損傷支配パラメータ
        ｂ　多結晶配線におけるEM損傷支配パラメータの妥当性
        ｃ　EM損傷支配パラメータを用いた多結晶配線における断線予測法

     Ⅱ－２．バンブー構造配線
        ａ　バンブー構造配線におけるEM損傷支配パラメータ
        ｂ　バンブー構造配線におけるEM損傷支配パラメータの妥当性
        ｃ　EM損傷支配パラメータを用いたバンブー構造配線における断線予測法

Ⅲ　数値シミュレーションによる高精度信頼性評価Ⅱ－表面が保護膜で被覆された金属薄膜配線

     Ⅲ－１．保護膜被覆多結晶配線
        ａ　保護膜被覆多結晶配線におけるEM損傷支配パラメータ（保護膜とＥＭ損傷との関係）
        ｂ　保護膜被覆多結晶配線におけるEM特性物性定数の導出法とパラメータ妥当性
        ｃ　EM損傷支配パラメータを用いた保護膜被覆多結晶配線の断線予測法

     Ⅲ－２．保護膜被覆バンブー構造配線
        ａ　保護膜被覆バンブー構造配線におけるEM損傷支配パラメータ（ビア接続配線のＥＭ損傷に関連して）
        ｂ　保護膜被覆バンブー構造配線におけるEM特性物性定数の導出法とパラメータ妥当性
        ｃ　EM損傷支配パラメータを用いた保護膜被覆バンブー構造配線の許容電流評価法　　　　

講師紹介

「略歴」
1993年3月　新潟大学大学院自然科学研究科（生産科学専攻）
　　 　　　 　　後期３年博士課程修了（博士（工学））
1993年4月　東北大学工学部（機械知能工学科）助手
1999年1月　東北大学大学院工学研究科（機械知能工学専攻）講師
1999年4月　弘前大学理工学部助教授・現在に至る
（受賞）
1993年7月 　日本機械学会瀬口賞（日本機械学会バイオエンジニアリング部門）
1999年4月 　日本機械学会奨励賞（日本機械学会）
2001年4月 　日本機械学会賞（日本機械学会）
2002年5月 　インテリジェント・コスモス奨励賞（インテリジェント・コスモス学術振興財団）
2002年10月　原田研究奨励賞（財団法人金属研究助成会）

「所属学会・協会」
日本機械学会　日本材料学会　米国実験力学会　エレクトロニクス実装学会
日本臨床バイオメカニクス学会　日本生体医工学会　バイオメカニズム学会

「役職・活動状況」
日本機械学会 次世代エレクトロニクス実装における信頼性設計と熱制御に関する研究分科会委員
日本材料学会 マイクロマテリアル部門委員会委員・破壊力学部門委員会委員