薄膜の硬さ･内部応力・密着力の相互関係と性能劣化

予備知識

特になし、材料科学の基礎知識があれば望ましい

修得知識

１）薄膜のプラズマプロセッシング
２）機械的性質の評価方法
３）薄膜材料・素子の劣化現象の物質移動論的考え方

講師の言葉

多くの工業製品は要求される機能をその表面で担っている。バルク材料の表面に異なった物質を付与する薄膜技術は電磁気素子、センサ、光学素子、機械工具など多方面にわたる産業を支えているが、それぞれの用途が異なることもあり、開発や研究の方法論がまちまちである。異なる分野の薄膜技術を理解し、目の前の材料開発や製品の信頼性を高めていくためには、薄膜の製造・性能評価・製品の劣化までの全体像を視る眼を養うことが重要である。

本講義では製造法によって薄膜物性がどのように変化していくのか、得られた膜の機械的諸物性の評価と解析方法の検討、さらに、これらの物性が材料の切削性能や耐候性などとどのように関連していくかについてなどについて考えてみたい。
たとえば、硬度―内部応力―密着力といったトライボロジー応用に最も重要な物性に関する研究は、従来、個々に報告されて、3つの物性の相互関係についての議論はほとんどなかった。本講演ではこれらの相互関係があきらかにされるであろう。また、薄膜材料の劣化機構について、新しい考え方を述べる。

講師紹介

略歴：
1972 東京工業大学　大学院博士課程修了
大学、民間企業研究所で物質移動現象、セラミックス材料、ハードコーティングの研究に携わる。
現在　神奈川工科大学客員教授

専門　　固体化学　特にセラミックス材料の輸送現象、薄膜の機械的性質

所属学会：
日本セラミックス協会、表面技術協会

現在の研究テーマ：
薄膜応力の緩和過程の機構、酸化物の格子欠陥